シャードの発生を防ぐ：ウェーハ処理におけるチューブの破裂対策 高負荷のファブでは、赤外線ランプが破裂するのは大変な問題です。停電による損失だけでなく、ガラスの破片や化学物質がウェーハの表面に散らばってしまうため、大惨事となります。これは絶対に避けなければならない状況です。 だからこそ、私たちは金製...

製造現場において、ソフトベイクやハードベイクの過程で0.1℃の温度変動が生じると、それは単なるデータシート上の数値上の問題ではありません。それは歩留まりの低下を意味します。熱の均一性が失われると、フォトレジストの状態が急速に変化し、その結果、廃棄物や再作業のコストが発生します。高効率なウェーハドラ...

実際の使用環境では、ランプの寿命が尽きるとスピンドライヤーが機能しなくなります。その結果、300mmウェーハ上に水痕が残ってしまいます。また、ソフトベイクの過程で粒子数が増加し、全体の品質に影響が出ます。したがって、コストを抑えつつ、常に清潔で安定した性能を発揮する乾燥用ランプが必要です。 内部構...