熱を無駄にしないために：なぜアルミニウム製の反射板が重要なのか 半導体製造工場では、熱というのは厄介な問題です。単に物を高温にするだけではなく、その熱がどこに行くかを正確にコントロールする必要があります。 問題点は、もし固体のアルミニウム製反射板を使わずに赤外線ランプを使ってウェーハを処理したり硬...

揮発性化学物質の周囲でIRランプを安全に使用するために 化学的な洗浄処理の際にシリコンウェーハを加熱するというのは、非常に微妙なバランスが必要です。正確な量のIRエネルギーが必要ですが、その作業は可燃性の溶剤のすぐそばで行われます。これは大変危険な状況です。わずかな火花やクォーツ管のひび割れでも、...

なぜ、あの小さなセラミック製のエンドキャップが重要なのか？ もしIRエミッターを見たことがあるなら、そのセラミック製のエンドキャップに気づいたはずです。一見すると些細な部品に思えますが、実際にはシステム全体を守る重要な役割を担っています。その役割というのは、高温のクォーツ管や電気端子同士が直接触れ...