無駄なエネルギーの消費を止めよう：なぜゴールド製の反射材が重要なのか 半導体製造工場において、無駄に消費される1ワットものエネルギーは、実質的には会社の損失と同じです。多くの人々は、熱が逃げてしまうのは仕方ないと考えていますが、私たちはもっと良い方法を見つけました。それはゴールドを使うことです。...

何か問題が発生したときに、ウェーハを清潔に保つ方法 高負荷のファブでは、ランプの故障は深刻な問題です。単に生産が停止するだけでなく、石英管が破損すると、ガラスの破片や化学物質がシリコン上に降り注ぎます。これは生産効率に大きな影響を与えます。 私たちは、このような最悪の状況が実際に問題を引き起こさな...

ヒーターの外装箱が危険な存在にならないようにしましょう 私たちは、過酷な工業環境でも耐えられるようにステンレス製のヒーター外装箱を製造しています。しかし、実際には、金属製の外装だけでは不十分です。 高出力のヒーターで問題となるのは、漏電です。もし絶縁体に損傷が生じると、その金属製の外装が帯電してし...

半導体製造工場で高出力の赤外線ランプを扱ったことがある人なら、その苦労はご存知でしょう。これらのランプは確かに効果的ですが、まるで小さな太陽のようなものです。適切な対策がなければ、その熱はあちこちに広がってしまいます。 やがて、装置の内壁が灼熱状態になってしまいます。これは悪夢のような状況です。オ...

ファブを安全に保つために（熱を失わずに） 半導体クリーンルームを運営している方なら、その厳しさはよくご存知でしょう。そこには可燃性の溶剤が使われているため、化学的な危険が常に存在します。このような環境では、一般的なIRランプを使用するのは非常に危険です。ちょっとした火花や高温の表面が化学物質に触れ...

なぜファブで赤外線加熱が熱風より優れているのか ウェーハの乾燥について話しましょう。従来の方式では、熱風を使ってウェーハを加熱します。空気を温めて、その空気がウェーハを温めるというわけです。ただし、これは非常に時間がかかります。 高圧環境下では、この待ち時間が大きな問題となります。ウェーハは乾燥室...

リソグラフィーブースでは、ポリイミド層が高度なインターコネクトをしっかりと結合させています。ハードベイクの際に温度が不安定になると、全てが台無しになってしまいます。私たちは、そのようなリスクを排除するために、専用のポリイミド硬化用加熱システムを開発しました。 重要なのは何か 私たちは、ベイクプロセ...

ファブ内では、フォトレジストのベイク性能はナノメートル単位で測定されます。ソフトベイクやハードベイクの際に半度でもずれが生じると、重要な寸法に影響が出ます。また、粒子の発生によって多くのウェーハが廃棄されてしまいます。ランプモジュール内のフィラメントは単なる消耗品ではなく、ベイク処理全体の熱管理を...

ファブフロアでは、ベイク温度のわずか0.5°Cのドリフトがクリティカル寸法のバイアスをナノメートル単位でずらす。ソフトベイクとハードベイクは単なる熱処理工程ではなく、寸法精度に対する約束である。ランプの性能が不足すれば、そのロットが影響を受ける。 技術的に重要なポイント カーボンファイバー赤外線エ...

24時間365日稼働するファブでは、ラインは誰のためにも止まらない。バッテリーセパレーター膜の乾燥中の一度の熱逸脱は、単にスループットを損なうだけでなく、フォトレジストの密着不良、溶媒のキャリーオーバー、リソグラフィクラスタ全体の歩留まり低下を引き起こす。 **このドライヤーの核となっているのは熱...