何か問題が発生したときに、ウェーハを清潔に保つ方法
高負荷のファブでは、ランプの故障は深刻な問題です。単に生産が停止するだけでなく、石英管が破損すると、ガラスの破片や化学物質がシリコン上に降り注ぎます。これは生産効率に大きな影響を与えます。
私たちは、このような最悪の状況が実際に問題を引き起こさないように、IR硬化用ランプを設計しています。
破損を防ぐ方法
私たちが採っている対策は、耐破壊性のあるケースや内部のFEPコーティングを使用することです。これはまるでセーフティネットのようなものです。もし熱衝撃や急激な電圧上昇によって管が割れても、このコーティングがすべてをしっかりと固定してくれます。そうすれば、クリーンルーム内が散乱した破片で汚染されることはありません。処理もずっと簡単になります。
熱対策
高出力で動作させると、装置は急速に熱くなります。私たちは高純度の石英を使用して、ランプが早期に焼損するのを防ぎますが、ランプ周辺の部品もそれに耐えられる必要があります。
もし空気の流れが遮断されると、管の末端が過熱し、シール部分が破損する可能性があります。これを防ぐために、強化されたエンドキャップを使用しています。これにより、電圧が限界まで上がっても依然としてしっかりと固定されます。
電気的側面
接続部の緩みは、目に見えない脅威です。それによってアークが発生し、微小な高温領域が生じ、最終的に管が破損します。私たちは精密に合わせられたコネクタを使用しています。しっかりと接続されていれば、ランプも安定して動作します。
ちょっとしたヒント：電源装置をしっかりと安定させておくことです。どんなに優れたコーティングでも、大きな電圧サージから管を守ることはできません。私たちは過酷な環境に耐えられるようにランプを設計していますが、それでも適切な電気環境が必要です。