ウェーハ用高精細IRセンサー

揮発性化学物質の周囲でIRランプを安全に使用するために 化学的な洗浄処理の際にシリコンウェーハを加熱するというのは、非常に微妙なバランスが必要です。正確な量のIRエネルギーが必要ですが、その作業は可燃性の溶剤のすぐそばで行われます。これは大変危険な状況です。わずかな火花やクォーツ管のひび割れでも、...