電池セパレーターフィルム乾燥工場

24時間365日稼働するファブでは、ラインは誰のためにも止まらない。バッテリーセパレーター膜の乾燥中の一度の熱逸脱は、単にスループットを損なうだけでなく、フォトレジストの密着不良、溶媒のキャリーオーバー、リソグラフィクラスタ全体の歩留まり低下を引き起こす。 **このドライヤーの核となっているのは熱...