スマートファブで赤外線加熱を実際に活用するには もしインダストリー4.0の工場を構築しようとしているのであれば、従来の加熱方法ではもはや十分ではないことがお分かりでしょう。単に部屋全体に熱を送り込むだけでは不十分です。より精密な制御が必要です。 そこで役立つのが赤外線です。赤外線を使えば、必要な場...

なぜファブで赤外線加熱が熱風より優れているのか ウェーハの乾燥について話しましょう。従来の方式では、熱風を使ってウェーハを加熱します。空気を温めて、その空気がウェーハを温めるというわけです。ただし、これは非常に時間がかかります。 高圧環境下では、この待ち時間が大きな問題となります。ウェーハは乾燥室...