もう、熱量を推測する必要はありません。なぜデジタル式のIRコントローラーが重要なのか。 「スマートなファブ」を構築しようと思うなら、単に古いヒーターを交換するだけでは不十分です。それは、車に新しいエンジンを搭載しつつ、壊れたステアリングホイールをそのまま使っているようなものです。PLCと連携できる...

製造現場において、ソフトベイクやハードベイクの過程で0.1℃の温度変動が生じると、それは単なるデータシート上の数値上の問題ではありません。それは歩留まりの低下を意味します。熱の均一性が失われると、フォトレジストの状態が急速に変化し、その結果、廃棄物や再作業のコストが発生します。高効率なウェーハドラ...

リソグラフィ工程では、ベークプロファイルが最適化されているかどうかに関わらず、生産ラインは進み続ける。ソフトベークのドリフトはCDの散らばりとして現れ、ハードベークの非均一性はパターンの整合性を破壊し、熱制御の誤差に対してウェハが代償を払うことになる。 開発内容とその意義 我々はNIRウェハドライ...

24時間365日稼働するファブでは、ラインは誰のためにも止まらない。バッテリーセパレーター膜の乾燥中の一度の熱逸脱は、単にスループットを損なうだけでなく、フォトレジストの密着不良、溶媒のキャリーオーバー、リソグラフィクラスタ全体の歩留まり低下を引き起こす。 **このドライヤーの核となっているのは熱...