化学的な洗浄を行った後にMEMSセンサーワークを乾燥させる際には、十分な熱が必要です。しかし問題は、可燃性の溶剤の近くでその作業を行うと、爆発の危険があるということです。本当に心配な状況です。 そのため、私たちは専用の赤外線ランプを使用しています。これらは、このような危険な環境向けに特別に設計され...

なぜファブで赤外線加熱が熱風より優れているのか ウェーハの乾燥について話しましょう。従来の方式では、熱風を使ってウェーハを加熱します。空気を温めて、その空気がウェーハを温めるというわけです。ただし、これは非常に時間がかかります。 高圧環境下では、この待ち時間が大きな問題となります。ウェーハは乾燥室...

##はじめに 私たちがこの卸売用ウェーハ乾燥ランプを開発したのは、アメリカや日本の有名メーカーと同等の性能を持ちながら、高価な価格を避けるためです。つまり、生産現場で必要とされる十分な熱と信頼性を提供しつつ、コストを抑えるのが目的です。これは、実際に機械を操作する人々のために作られた製品です。空約...

実際の使用環境では、ランプの寿命が尽きるとスピンドライヤーが機能しなくなります。その結果、300mmウェーハ上に水痕が残ってしまいます。また、ソフトベイクの過程で粒子数が増加し、全体の品質に影響が出ます。したがって、コストを抑えつつ、常に清潔で安定した性能を発揮する乾燥用ランプが必要です。 内部構...

ファブの現場では、最終洗浄後のウェーハには、たとえミクロン単位の水分でも許されません。対流式オーブンでは、基板全体の温度勾配を追い求める必要があり、その過程で歩留まりが低下してしまいます。一方、赤外線乾燥方式なら、この問題を解決できます。 技術的に重要なのは何か？ 赤外線は水に直接作用し、チャンバ...