なぜ、バスルーム用のヒーターは目を傷つけてはいけないのか バスルーム用の赤外線ランプを設計するとき、私たちが解決しようとしているのは、一つの大きな問題です。それは、太陽のような眩しい光を感じずに、温かさを得る方法です。 ほとんどのクォーツヒーターは、非常に強烈で眩しい光を放ちます。大人にとっては迷...

UHP赤外線を使ってファブ内の温度をコントロールする 半導体ファブを運営している方なら、温度が何よりも重要であることはご存知でしょう。しかし、「スマートファブ」へと移行するにつれて、従来の抵抗加熱方式ではもう十分ではありません。 これは単なる流行に従うことではなく、データに基づいた判断が必要です。...

製造現場において、ソフトベイクやハードベイクの過程で0.1℃の温度変動が生じると、それは単なるデータシート上の数値上の問題ではありません。それは歩留まりの低下を意味します。熱の均一性が失われると、フォトレジストの状態が急速に変化し、その結果、廃棄物や再作業のコストが発生します。高効率なウェーハドラ...

製造現場においては、ご存知の通り、状況は厳しいものです。ソフトベイクの際に1℃の温度変動があっただけで、ウエハーの寸法がナノメートル単位で変化してしまいます。それだけで、何時間もかけて行われたリソグラフィ工程が台無しになってしまいます。ウエハーを加熱するということは、単に高温にするだけではありませ...