スマートファブでの適切なIR加熱の実現方法 スマートファブを構築するということは、単にロボットを設置して「インダストリー4.0」と呼ぶだけではありません。重要なのは、どのようにして熱を制御するかという点です。 もし依然として従来型の抵抗加熱方式を使っているのであれば、不必要に手間がかかります。私た...

もう、壊れたヒーターのせいで時間を無駄にしないでください。 製造開始から5年経ってヒーターが壊れてしまった場合、その部品自体のコストは安いです。問題なのは、機械が停止してしまうことです。期限が迫り、毎分のようにお金が失われていきます。そして、大規模な修理が必要だと気づくのです。 それが、私たちが赤...

ファブ内では、ウェーハ全体にわたって0.1℃の温度差が生じるだけで、線幅の制御が崩れてしまいます。ソフトベイクやハードベイクの際のフォトレジストは、意図などは関係ありません。重要なのは、熱管理が適切に行われているかどうかです。もし熱管理が不十分だと、残存溶剤やスカムの発生、または回路の接続不良など...

製造現場においては、ご存知の通り、状況は厳しいものです。ソフトベイクの際に1℃の温度変動があっただけで、ウエハーの寸法がナノメートル単位で変化してしまいます。それだけで、何時間もかけて行われたリソグラフィ工程が台無しになってしまいます。ウエハーを加熱するということは、単に高温にするだけではありませ...

ライン上では、その300mmウェハーがリソグラフィの許容差を固定するクリーンな熱的シグネチャを待っている。ソフトベークが数度でもずれると、フォトレジストの厚みが変化する。その後のハードベークでは、クリティカルな特徴が崩れ始めるのを目にすることになる。 蒸発器内の加熱ランプは単なる「熱源」ではない。...