ウェーハ加熱の安全距離

スマートファブでの適切なIR加熱の実現方法 スマートファブを構築するということは、単にロボットを設置して「インダストリー4.0」と呼ぶだけではありません。重要なのは、どのようにして熱を制御するかという点です。 もし依然として従来型の抵抗加熱方式を使っているのであれば、不必要に手間がかかります。私た...