クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つには 半導体ウェーハを加熱する際、温度制御だけでは不十分です。クラス100の環境では、わずかなほこりの粒でも、一括して作られたチップ全てが台無しになってしまいます。これは本当に厄介な問題です。そのため、私たちは金属製のヒーターを捨て、高純度の石英...

化学物質が不安定になったときの安全対策 正直に言って、クリーンルーム内で半導体製造用の装置を加熱するのは、非常に危険な作業です。周囲には可燃性の洗浄剤があるため、失敗したら大惨事につながりかねません。ほんの小さな火花や、タイミング悪く点灯しなくなった照明器具だけでも、大問題になり得ます。 だからこ...

クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために もしあなたがクラス100のクリーンルームを運営しているなら、その重要性はよくわかっているでしょう。ほんのわずかなほこりや金属片でも、すべてを台無しにしてしまいます。半導体の加熱に関して言えば、問題は通常、加熱素子から始まります。これが、全...

スマートファブで赤外線加熱を実際に活用するには もしインダストリー4.0の工場を構築しようとしているのであれば、従来の加熱方法ではもはや十分ではないことがお分かりでしょう。単に部屋全体に熱を送り込むだけでは不十分です。より精密な制御が必要です。 そこで役立つのが赤外線です。赤外線を使えば、必要な場...

検査ラインにおいて、0.5℃の温度変動というのは、合格するパターンと不合格となるパターンの違いに相当します。ウェーハの温度は信号の形状を決定し、バックグラウンド値を設定し、レジストがレンズの下でどのように振る舞うかを決定します。もしヒーターが適切な温度を維持できなければ、歩留まりだけでなく、工程全...