ウエハー湿気除去ヒータランプ

fabフロアでの状況 ウェハ表面の水分は待ってはくれません。フォトレジストのプロファイルを乱し、重要寸法を狂わせ、再作業不可能な欠陥を発生させます。リソグラフィとフォトレジスト処理において、ソフトベークとハードベークは単なる加熱サイクルではなく、水分除去の工程であり、歩留まりを決定づけます。 本質...