ウェーハ処理装置で正確な熱画像を得る方法 よりスマートなファブを実現したいと考えているなら、従来の接触型温度計ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。それらは反応が遅く、正直なところ、ウェーハに触れるのは避けた方が良いリスクです。 そのため、私たちは高速な赤外線センサーを採用しています。...

検査ラインにおいて、0.5℃の温度変動というのは、合格するパターンと不合格となるパターンの違いに相当します。ウェーハの温度は信号の形状を決定し、バックグラウンド値を設定し、レジストがレンズの下でどのように振る舞うかを決定します。もしヒーターが適切な温度を維持できなければ、歩留まりだけでなく、工程全...