ファブランプ用の交換フィラメント

ファブ内では、フォトレジストのベイク性能はナノメートル単位で測定されます。ソフトベイクやハードベイクの際に半度でもずれが生じると、重要な寸法に影響が出ます。また、粒子の発生によって多くのウェーハが廃棄されてしまいます。ランプモジュール内のフィラメントは単なる消耗品ではなく、ベイク処理全体の熱管理を...