近赤外線 NIR ウェハードライヤー

リソグラフィ工程では、ベークプロファイルが最適化されているかどうかに関わらず、生産ラインは進み続ける。ソフトベークのドリフトはCDの散らばりとして現れ、ハードベークの非均一性はパターンの整合性を破壊し、熱制御の誤差に対してウェハが代償を払うことになる。 開発内容とその意義 我々はNIRウェハドライ...