何か問題が発生したときに、ウェーハを清潔に保つ方法 高負荷のファブでは、ランプの故障は深刻な問題です。単に生産が停止するだけでなく、石英管が破損すると、ガラスの破片や化学物質がシリコン上に降り注ぎます。これは生産効率に大きな影響を与えます。 私たちは、このような最悪の状況が実際に問題を引き起こさな...

ウェーハの硬化処理において、重要なのは正確な温度管理です。しかし実際には、反射板やランプの組み立てを行う際には、単に表面が光っているかどうかだけでは不十分です。私たちは、高電圧をかけるランプと接地された筐体との間の電気的な隙間にも細心の注意を払います。 なぜ高電圧耐性試験を重視するのか？ ここでは...

リソグラフィーブースでは、ポリイミド層が高度なインターコネクトをしっかりと結合させています。ハードベイクの際に温度が不安定になると、全てが台無しになってしまいます。私たちは、そのようなリスクを排除するために、専用のポリイミド硬化用加熱システムを開発しました。 重要なのは何か 私たちは、ベイクプロセ...