工場乾燥設備のエネルギー診断

なぜファブで赤外線加熱が熱風より優れているのか ウェーハの乾燥について話しましょう。従来の方式では、熱風を使ってウェーハを加熱します。空気を温めて、その空気がウェーハを温めるというわけです。ただし、これは非常に時間がかかります。 高圧環境下では、この待ち時間が大きな問題となります。ウェーハは乾燥室...