化学物質が不安定になったときの安全対策 正直に言って、クリーンルーム内で半導体製造用の装置を加熱するのは、非常に危険な作業です。周囲には可燃性の洗浄剤があるため、失敗したら大惨事につながりかねません。ほんの小さな火花や、タイミング悪く点灯しなくなった照明器具だけでも、大問題になり得ます。 だからこ...

ファブを安全に保つために（熱を失わずに） 半導体クリーンルームを運営している方なら、その厳しさはよくご存知でしょう。そこには可燃性の溶剤が使われているため、化学的な危険が常に存在します。このような環境では、一般的なIRランプを使用するのは非常に危険です。ちょっとした火花や高温の表面が化学物質に触れ...

なぜクリーンルームで赤外線照射を採用したのか 半導体製造施設で働くとき、「清潔さ」は単なる目標ではなく、すべてを決定づける要素です。ウェーハにほんの少しのほこりや残留物でもあってはならないのです。 長年にわたり、一般的には対流式オーブンが使われてきました。しかし、問題点があります。対流式オーブンは...

なぜクリーンルーム用のオーブンで強制送風装置の代わりに赤外線を使うのか？ 半導体製造のプロセスを進めていく上で、最も重要なのは「どれだけ時間を無駄にしているか」という点です。 ほとんどの人は強制送風方式に慣れています。しかし、問題は対流の速度が遅いということです。つまり、巨大な空気の箱を温めて、そ...