半導体ヒーター用熱電対

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つには 半導体ウェーハを加熱する際、温度制御だけでは不十分です。クラス100の環境では、わずかなほこりの粒でも、一括して作られたチップ全てが台無しになってしまいます。これは本当に厄介な問題です。そのため、私たちは金属製のヒーターを捨て、高純度の石英...