シャードの発生を防ぐ：ウェーハ処理におけるチューブの破裂対策 高負荷のファブでは、赤外線ランプが破裂するのは大変な問題です。停電による損失だけでなく、ガラスの破片や化学物質がウェーハの表面に散らばってしまうため、大惨事となります。これは絶対に避けなければならない状況です。 だからこそ、私たちは金製...

半導体製造における二酸化炭素削減（面倒なことは一切なし） 正直に言えば、半導体工場では熱管理が非常に重要です。しかし、その高い温度を維持しつつカーボンニュートラルを実現しようとするのは、なかなか難しいことです。私たちの多くは依然として従来の対流式加熱方式を使っていますが、これはまるで窓を開けて家を...