無駄な時間を節約しよう：水素センサーをより効率的に作る方法 もし水素センサーを製造しているのであれば、ご存知の通り、熱分布を正確に管理する必要があります。そうでないと、膜が壊れたり、触媒がうまく機能しなくなったりします。 ほとんどの工場では依然として熱風循環方式が使われています。正直、これは非効率...

揮発性化学物質の周囲でIRランプを安全に使用するために 化学的な洗浄処理の際にシリコンウェーハを加熱するというのは、非常に微妙なバランスが必要です。正確な量のIRエネルギーが必要ですが、その作業は可燃性の溶剤のすぐそばで行われます。これは大変危険な状況です。わずかな火花やクォーツ管のひび割れでも、...

化学的な洗浄を行った後にMEMSセンサーワークを乾燥させる際には、十分な熱が必要です。しかし問題は、可燃性の溶剤の近くでその作業を行うと、爆発の危険があるということです。本当に心配な状況です。 そのため、私たちは専用の赤外線ランプを使用しています。これらは、このような危険な環境向けに特別に設計され...

ウェーハ処理装置で正確な熱画像を得る方法 よりスマートなファブを実現したいと考えているなら、従来の接触型温度計ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。それらは反応が遅く、正直なところ、ウェーハに触れるのは避けた方が良いリスクです。 そのため、私たちは高速な赤外線センサーを採用しています。...