ウェーハ処理に赤外線を使用する理由

ライン上では、その過程を直接見ることができます。ソフトベイクの際には温度が2℃程度上昇し、その瞬間にフォトレジストのプロファイルも変化します。その後、オーバーレイエラーが発生し、ウェハがエッチング処理を受ける前に不良率が上昇します。だからこそ、赤外線加熱は単なる選択肢ではなく、プロセス制御のために...