スマートファブでの適切なIR加熱の実現方法 スマートファブを構築するということは、単にロボットを設置して「インダストリー4.0」と呼ぶだけではありません。重要なのは、どのようにして熱を制御するかという点です。 もし依然として従来型の抵抗加熱方式を使っているのであれば、不必要に手間がかかります。私た...

揮発性化学物質の周囲でIRランプを安全に使用するために 化学的な洗浄処理の際にシリコンウェーハを加熱するというのは、非常に微妙なバランスが必要です。正確な量のIRエネルギーが必要ですが、その作業は可燃性の溶剤のすぐそばで行われます。これは大変危険な状況です。わずかな火花やクォーツ管のひび割れでも、...

化学的な洗浄を行った後にMEMSセンサーワークを乾燥させる際には、十分な熱が必要です。しかし問題は、可燃性の溶剤の近くでその作業を行うと、爆発の危険があるということです。本当に心配な状況です。 そのため、私たちは専用の赤外線ランプを使用しています。これらは、このような危険な環境向けに特別に設計され...

ウェーハの硬化処理において、重要なのは正確な温度管理です。しかし実際には、反射板やランプの組み立てを行う際には、単に表面が光っているかどうかだけでは不十分です。私たちは、高電圧をかけるランプと接地された筐体との間の電気的な隙間にも細心の注意を払います。 なぜ高電圧耐性試験を重視するのか？ ここでは...

ウェーハ処理装置で正確な熱画像を得る方法 よりスマートなファブを実現したいと考えているなら、従来の接触型温度計ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。それらは反応が遅く、正直なところ、ウェーハに触れるのは避けた方が良いリスクです。 そのため、私たちは高速な赤外線センサーを採用しています。...

##はじめに 私たちがこの卸売用ウェーハ乾燥ランプを開発したのは、アメリカや日本の有名メーカーと同等の性能を持ちながら、高価な価格を避けるためです。つまり、生産現場で必要とされる十分な熱と信頼性を提供しつつ、コストを抑えるのが目的です。これは、実際に機械を操作する人々のために作られた製品です。空約...

製造現場において、ソフトベイクやハードベイクの過程で0.1℃の温度変動が生じると、それは単なるデータシート上の数値上の問題ではありません。それは歩留まりの低下を意味します。熱の均一性が失われると、フォトレジストの状態が急速に変化し、その結果、廃棄物や再作業のコストが発生します。高効率なウェーハドラ...

ライン上では、その過程を直接見ることができます。ソフトベイクの際には温度が2℃程度上昇し、その瞬間にフォトレジストのプロファイルも変化します。その後、オーバーレイエラーが発生し、ウェハがエッチング処理を受ける前に不良率が上昇します。だからこそ、赤外線加熱は単なる選択肢ではなく、プロセス制御のために...

ファブの現場では、最終洗浄後のウェーハには、たとえミクロン単位の水分でも許されません。対流式オーブンでは、基板全体の温度勾配を追い求める必要があり、その過程で歩留まりが低下してしまいます。一方、赤外線乾燥方式なら、この問題を解決できます。 技術的に重要なのは何か？ 赤外線は水に直接作用し、チャンバ...

ファブ内では、ウェーハ全体にわたって0.1℃の温度差が生じるだけで、線幅の制御が崩れてしまいます。ソフトベイクやハードベイクの際のフォトレジストは、意図などは関係ありません。重要なのは、熱管理が適切に行われているかどうかです。もし熱管理が不十分だと、残存溶剤やスカムの発生、または回路の接続不良など...

リソグラフィーブースでは、ポリイミド層が高度なインターコネクトをしっかりと結合させています。ハードベイクの際に温度が不安定になると、全てが台無しになってしまいます。私たちは、そのようなリスクを排除するために、専用のポリイミド硬化用加熱システムを開発しました。 重要なのは何か 私たちは、ベイクプロセ...