もう、壊れたヒーターのせいで時間を無駄にしないでください。 製造開始から5年経ってヒーターが壊れてしまった場合、その部品自体のコストは安いです。問題なのは、機械が停止してしまうことです。期限が迫り、毎分のようにお金が失われていきます。そして、大規模な修理が必要だと気づくのです。 それが、私たちが赤...

熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされたIR素子が最適なのか グローブボックス内でウェーハを加熱したことがある人なら、その手間苦労がわかるでしょう。ランプに電力を供給しても、そのエネルギーの大部分が無駄に消費されてしまいます。エネルギーはチャンバーの壁に当たり、加熱する必要のない空気を温め...

製造ラインでは、そのオーブンのドアが閉じられ、時計の針が動き始めます。ソフトベイクとハードベイクの温度は、迅速に安定していなければならず、一定の状態を保つ必要があります。もし温度が変動すれば、線幅の誤差やスカム、残留膜などの問題が発生します。温度制御が失われると、歩留まりや停止時間の増加という代償...