ウェーハ乾燥における赤外線と対流の比較

ファブの現場では、最終洗浄後のウェーハには、たとえミクロン単位の水分でも許されません。対流式オーブンでは、基板全体の温度勾配を追い求める必要があり、その過程で歩留まりが低下してしまいます。一方、赤外線乾燥方式なら、この問題を解決できます。 技術的に重要なのは何か？ 赤外線は水に直接作用し、チャンバ...