半導体検査装置用ヒーター

検査ラインにおいて、0.5℃の温度変動というのは、合格するパターンと不合格となるパターンの違いに相当します。ウェーハの温度は信号の形状を決定し、バックグラウンド値を設定し、レジストがレンズの下でどのように振る舞うかを決定します。もしヒーターが適切な温度を維持できなければ、歩留まりだけでなく、工程全...