グローブボックス用赤外線ヒーター素子

熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされたIR素子が最適なのか グローブボックス内でウェーハを加熱したことがある人なら、その手間苦労がわかるでしょう。ランプに電力を供給しても、そのエネルギーの大部分が無駄に消費されてしまいます。エネルギーはチャンバーの壁に当たり、加熱する必要のない空気を温め...