もう、壊れたヒーターのせいで時間を無駄にしないでください。 製造開始から5年経ってヒーターが壊れてしまった場合、その部品自体のコストは安いです。問題なのは、機械が停止してしまうことです。期限が迫り、毎分のようにお金が失われていきます。そして、大規模な修理が必要だと気づくのです。 それが、私たちが赤...

ファブ内では、フォトレジストのベイク性能はナノメートル単位で測定されます。ソフトベイクやハードベイクの際に半度でもずれが生じると、重要な寸法に影響が出ます。また、粒子の発生によって多くのウェーハが廃棄されてしまいます。ランプモジュール内のフィラメントは単なる消耗品ではなく、ベイク処理全体の熱管理を...