半製品のカーボンニュートラル化を実現するには：オゾンを発生させないIRランプについて話しましょう。
クリーンルームで作業したことがある人ならわかると思いますが、適切な温度環境を維持するのはなかなか難しいことです。私たちの多くは短波長赤外線ランプを利用していますが、この標準的なランプには隠れた問題があります。それは、185ナノメートルから254ナノメートルの範囲の放射線が漏れ出すことです。これにより、空気中にオゾンが発生してしまいます。
オゾンは大変厄介な存在です。工具を腐食させ、空気を呼吸可能な状態に保つためにHVACシステムが余計な労力を使わざるを得ません。エネルギーの無駄遣いであり、メンテナンスも大変です。
私たちはより良い方法を見つけました。特定のVUV波長を遮断する石英製のケースを使用することで、オゾンの発生を未然に防ぐことができます。
鍵はガラスにあります。
一般的な石英ガラスでは、あらゆる光が通過してしまいます。私たちは、フィルターとして機能する特殊なコーティングを施した石英ガラスを使用します。これにより、オゾンを生成する光は遮断され、加熱に必要な光だけが通過します。必要な熱は得られますが、有害なガスは一切発生しません。簡単ですね。
高出力を実現するには
ウェハの処理速度を上げるためには、1平方ミリメートルあたりの出力が高くなければなりません。そうすると、物質がより速く加熱されます。つまり、無駄な待機時間が減り、電力の無駄遣いも減ります。これによって、実際にカーボンフットプリントを削減することができます。
ただし、注意が必要です。電源を確認せずにそのまま接続してはいけません。電圧がランプの要求と合致していなければ、ランプが早期に壊れてしまいます。また、短いチューブに過度な電力を供給しようとすると、端の部分が損傷してしまいます。適切な放熱処理を行わないと、問題が生じます。
覚えておくべきこと
これらのランプは交換が容易ですが、古いランプとは完全に同じわけではありません。コーティングの影響で、発光スペクトルが少しずれます。ウェハの材質によっては、熱の吸収具合にわずかな違いが生じることもあります。
私のアドバイスです。ランプを交換したら、PIDコントローラーの調整に少し時間をかけてください。これは簡単な校正作業ですが、温度が過剰に上昇するのを防ぐことができます。これによって、エネルギー節約の効果を工場の報告書に反映させることができます。