वेफर उपकरणों में थर्मल इमेजिंग का सही उपयोग
यदि आप एक अधिक प्रभावी उत्पादन प्रणाली की ओर बढ़ना चाहते हैं, तो आपने शायद महसूस किया होगा कि पुराने तरह के थर्मामीटर अब काम नहीं करते। वे धीमे हैं… और ईमानदारी से कहें तो, वेफर को छूना ऐसा जोखिम है जिसे लेने की कोई आवश्यकता नहीं है।
इसीलिए हमने उच्च-गति वाली इन्फ्रारेड प्रणालियों का उपयोग शुरू किया है। इससे हम बिना वेफर की सतह को छूए ही वास्तविक समय में थर्मल माप ले सकते हैं… कोई संदूषण नहीं, कोई यांत्रिक दबाव नहीं… सिर्फ सटीक डेटा ही।
अनुमान लगाने के बजाय, सीधे देखें
डिजिटल उत्पादन में डेटा ही सब कुछ है। हम इन्फ्रारेड सेंसरों को सीधे PLC/SCADA सिस्टम से जोड़ते हैं… इससे ऊष्मा-विकिरण तुरंत ही डिजिटल संकेतों में बदल जाता है।
सबसे अच्छी बात यह है कि अब आप वेफर की वास्तविक सतह को देख सकते हैं।
थर्मोकपलों के उपयोग से आपको अक्सर केवल ससेप्टर या चैंबर की दीवारों के तापमान के आधार पर ही अनुमान लगाना पड़ता है… लेकिन अब आपको सीधा दृश्य ही मिलता है। यदि वेफर की सतह पर कुछ भी चला जाए, तो आपको तुरंत पता चल जाएगा… और आप तुरंत ही अपने हीटिंग तत्वों को समायोजित कर सकते हैं।
“विंडो” समस्या का समाधान
वैक्यूम चैंबर बहुत ही कठिन वातावरण हैं… सबसे बड़ी समस्या तो “विंडो इफेक्ट” है… जिसमें क्वार्ट्ज/सफ़ायर से बने विंडो इन्फ्रारेड संकेतों को रोक देते हैं।
यह बहुत ही परेशान करने वाली समस्या है… लेकिन हमने इसका समाधान ढूँढ लिया है। हम अपने सेंसरों को ऐसी तरंगदैर्घ्यों पर कैलिब्रेट करते हैं, जिससे वे उन सामग्रियों के बीच से आसानी से गुजर सकें।
ध्यान रखें: अपने ऑप्टिकल पथ को साफ रखें… यदि विंडो पर कोई अवशेष जम जाएं, तो आपके मापन परिणाम गलत हो जाएंगे। यह तो एक सरल समाधान है… लेकिन यही बात ही एक बेहतरीन उत्पादन प्रक्रिया एवं बर्बाद हुए वेफरों के बीच का अंतर है।
लाभ एवं नुकसान
इसका लाभ तो बहुत ही बड़ा है… आप उन भारी प्रोबों को हटा सकते हैं… और चैंबर में जगह भी बच सकती है।
लेकिन एक नुकसान भी है… उच्च-रिज़ॉल्यूशन वाले इन्फ्रारेड सेंसरों से बहुत ही अधिक डेटा प्राप्त होता है।
यदि आप ऐसे सेंसरों का उपयोग पूरी उत्पादन प्रणाली में कर रहे हैं, तो आपके नेटवर्क को इस डेटा को संभालने में सक्षम होना आवश्यक है… यदि डेटा में देरी हो जाए, तो PID लूप भी धीमा हो जाएगा… और उन्नत उत्पादन प्रक्रियाओं में ऐसी देरी तो बर्दाश्त नहीं की जा सकती।