निरीक्षण प्रक्रिया में, 0.5°C का अंतर ही वह फर्क है जो उस पैटर्न में होता है जो सफलतापूर्वक जमीन पर गिरता है, एवं उस पैटर्न में जो ऐसा नहीं कर पाता। वेफर का तापमान ही सिग्नलों को आकार देता है; यह ही फोटोरेजिस्ट के व्यवहार को निर्धारित करता है। यदि हीटर अपने तापमान को नियंत्रित नहीं कर पाता, तो न केवल उत्पादन में कमी आती है, बल्कि पूरी प्रक्रिया ही विफल हो जाती है।
निरीक्षण हीटर में हमने क्या शामिल किया?
हमने शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों एवं क्वार्ट्ज-आधारित थर्मल सिस्टम का उपयोग किया, ताकि वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे। सेटपॉइंट सेट होने में 200 मिलीसेकंड से भी कम समय लगता है; इसलिए थर्मल विलंब के कारण हाई-स्पीड स्कैनिंग में कोई समस्या नहीं आती। नियंत्रण, हॉट ज़ोन में लगे कैलिब्रेटेड सेंसरों के माध्यम से ही होता है; हाउसिंग के तापमान के आधार पर नहीं। इन सामग्रियों का उपयोग क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में किया जा सकता है; इनमें गैस उत्सर्जन बहुत कम होता है, एवं कोई कण भी नहीं उत्पन्न होता। ये उपकरण 110–240 VAC वोल्टेज पर ही काम करते हैं, एवं मानक टूल इंटरफेसों के साथ ही काम करते हैं।
ध्यान रखने योग्य बातें:
प्रदर्शन, चेम्बर की ज्यामिति एवं शीतलन क्षमता पर ही निर्भर है; इसलिए इंस्टॉलेशन के दौरान हॉट ज़ोन को वेफर के समतल स्तर पर ही रखना आवश्यक है। इंस्टॉलेशन के बाद एक बार ही थर्मल मैपिंग की आवश्यकता होती है, ताकि यूनिफॉर्मिटी कॉम्पेन्सेशन टेबल तैयार हो सके। यदि वातावरणीय आर्द्रता में बदलाव होता है, तो रखरखाव के बाद सिस्टम को कुछ समय तक स्थिर होने देना आवश्यक है, तभी ही निरीक्षण प्रक्रिया शुरू की जा सकती है।