उत्पादन क्षेत्र में, ओवन का दरवाजा बंद हो जाता है, और घड़ी चलना शुरू हो जाती है। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में तापमान को जल्दी ही स्थिर होना आवश्यक है; कोई भी तापमान-परिवर्तन लाइन-विचलन, अशुद्धियों या अवशेषी पदार्थों के रूप में सामने आता है। यदि ताप-नियंत्रण ठीक न हो, तो इसका परिणाम उत्पादन-दर में कमी एवं मशीनों के बंद रहने के रूप में सामने आता है।
जो बातें महत्वपूर्ण हैं…
हमने सेमीकंडक्टर उत्पादन हेतु ऑक्सफोर्ड इंस्ट्रूमेंट्स के हीटर तत्वों का निर्माण किया है। क्वार्ट्ज-आधारित हैलोजन डिज़ाइन के कारण छोटी तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड तरंगें उत्पन्न होती हैं; इससे तापमान जल्दी ही स्थिर हो जाता है। वेफरों पर तापमान की स्थिरता ±0.1°C तक होनी चाहिए, एवं हर बार एक ही स्तर पर रहना आवश्यक है। यह हीटर तत्व क्लास 1–100 वाले वातावरण में भी कार्य कर सकता है, एवं इसकी संरचना के कारण कणों का उत्पादन लगभग शून्य ही रहता है। 5,000 घंटों से अधिक समय तक भी इसका आउटपुट स्थिर रहता है।
फोटोरेजिस्ट प्रक्रिया में इसका महत्व…
फोटोरेजिस्ट प्रक्रिया में तापमान-सटीकता बहुत महत्वपूर्ण है। यह हीटर तत्व “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं पर नियंत्रण रखने में मदद करता है; इससे त्रुटियाँ कम हो जाती हैं। तेज़ तापमान-वृद्धि से बेकिंग प्रक्रिया में समय की बचत होती है, एवं ऊर्जा-उपयोग भी कम हो जाता है। यह हीटर तत्व मानकों के अनुरूप है; इसलिए इसे मौजूदा उपकरणों में आसानी से उपयोग में लाया जा सकता है।
जो बातें इसकी सफलता/विफलता का कारण बनती हैं…
इसकी स्थापना हेतु सटीकता आवश्यक है – तत्व को निर्धारित जगह पर ही लगाना आवश्यक है। अन्यथा गर्म बिंदु एवं अकालिक तनाव पैदा हो जाता है। सही वोल्टेज एवं सही शीतलन-प्रणाली भी आवश्यक है। स्थिर हवा-प्रवाह एवं साफ सतहें भी आवश्यक हैं, ताकि तापमान ±0.1°C पर ही रहे। कनेक्टर एवं माउंटिंग हार्डवेयर को OEM इंटरफ़ेस के अनुरूप ही चुनना आवश्यक है। नियमित रूप से निरीक्षण करने से ही इसका प्रदर्शन स्थिर रहता है।