फैब फ्लोर पर, स्थिति ऐसी ही होती है। सॉफ्ट बेक के दौरान 1°C का अंतर भी वेफर के महत्वपूर्ण आयामों को नैनोमीटर स्तर पर प्रभावित कर सकता है… और यही कारण है कि घंटों की मेहनत बर्बाद हो जाती है। वेफर को गर्म करने का मतलब केवल उसे गर्म करना ही नहीं है… बल्कि इसका उद्देश्य हर परत के तापीय संतुलन को बनाए रखना है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम ऐसी लैंपों का उपयोग करते हैं, जो क्वार्ट्ज-हैलोजन डिज़ाइन वाले शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड उत्सर्जकों पर आधारित होती हैं। ये लैंप तेज़ एवं सीधे तौर पर वेफर की सतह पर ऊष्मा पहुँचाती हैं। यह सिस्टम बेकिंग ज़ोन में वेफर के आयामों को ±0.1°C के भीतर बनाए रखता है… जबकि सेटपॉइंट स्थिरता ±0.05°C से भी अधिक होती है। क्लीनरूम की व्यवस्था भी बेहतरीन है… क्लास 1–100 के मानकों के अनुरूप सामग्रियों का उपयोग किया जाता है… एवं कणों की मात्रा 0.1 पार्टिकल/सेमी² से भी कम रखी जाती है। जीरो-पार्टिकल ऑपरेशन बहुत ही महत्वपूर्ण है… खासकर सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक के दौरान… क्योंकि ऐसी स्थितियों में संदूषण स्थायी हो जाता है।
लिथोग्राफी (एवं पैकेजिंग) में इसकी भूमिका
लिथोग्राफी में, ऐसी सटीकता से फोटोरेसिस्ट का प्रवाह सुनिश्चित होता है… एवं विलायकों का निष्कासन भी नियंत्रित रहता है। इसके परिणामस्वरूप वेफर के किनारे और भी स्पष्ट हो जाते हैं… एवं दोष कम हो जाते हैं। इससे CD नियंत्रण बेहतर हो जाता है… पुनर्कार्य कम हो जाता है… एवं बेकिंग प्रक्रिया हर बार एक जैसी ही रहती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि NIR लैंप वेफर को सीधे गर्म करता है… न कि चैंबर को गर्म करने में समय बर्बाद करता है। यह लैंप 5,000 घंटों तक काम कर सकता है… एवं इसकी तीव्रता में 5% से भी कम बदलाव होता है। पैकेजिंग लाइनों में, जहाँ एनकैप्सुलेशन से पहले नियंत्रित तापन आवश्यक है… ऐसी सटीकता से संवेदनशील संरचनाओं की सुरक्षा होती है… एवं अपशिष्ट भी कम हो जाता है।
योजना बनाते समय क्या ध्यान रखना है?
स्थापना हेतु 24 VDC वाला विशेष पावर बस आवश्यक है… एवं ऑप्टिकल एलाइनमेंट को बनाए रखने हेतु कंपन-रहित सहारा भी आवश्यक है। यह लैंप मानक 6/8/12-इंच वाले वेफर चक्कों के साथ काम करता है… एवं SEMI मानकों के अनुरूप है। लेकिन यदि आप पुराने ओवनों में इसे इंटीग्रेट करना चाहते हैं… तो आपको विशेष ब्रैकेट की आवश्यकता होगी। कॉमिशनिंग बहुत ही आसान है… बस अपने फोटोरेसिस्ट स्टैक के लिए उत्सर्जन एवं समय सेट करना ही है। एक बार ऐसा करने के बाद, प्रक्रिया हमेशा एक जैसी ही रहती है। सेमीकंडक्टर निर्माण में, सटीकता कोई वैकल्पिक विशेषता नहीं है… बल्कि यही इसका मूल उद्देश्य है।