लिथोग्राफी प्रक्रिया में, पॉलीइमाइड परतें ही विभिन्न घटकों को आपस में जोड़ने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाती हैं। यदि हार्ड बेक प्रक्रिया के दौरान तापमान में कोई बदलाव हो जाए, तो सारी प्रक्रिया व्यर्थ हो जाती है। हमने ऐसी समस्याओं से बचने हेतु एक विशेष थर्मल सिस्टम विकसित किया है।
महत्वपूर्ण बातें:
हम पूरी बेक प्रक्रिया के दौरान वेफर पर ±0.1°C की तापीय एकरूपता बनाए रखते हैं। शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों के कारण वेफर ही गर्म होता है, न कि चेम्बर; इसलिए क्लास 1–100 में क्लीनरूम में कणों की संख्या 0.1 प्रति घन फुट से कम ही रहती है। प्रत्येक बार की बेक प्रक्रिया में तापमान में ±0.5°C का ही अंतर रहता है; इसलिए हर बार परिणाम समान ही रहता है।
कार्बन-फाइबर-रीइनफोर्स्ड हीटर प्लेटें तेजी से गर्म होती हैं, और इस सिस्टम में हर चक्र का रिकॉर्ड रखा जाता है, ताकि पूरी प्रक्रिया का ट्रैक रखा जा सके।
व्यवहार में इसकी उपयोगिता:
पॉलीइमाइड को सही तापमान पर ही सुखाया जाता है। हमारा नियंत्रण प्रणाली तापमान को पॉलीइमाइड की अनुमेय सीमा के भीतर ही रखती है – न तो कम तापमान से पॉलीइमाइड ठीक से सुख जाता है, न ही अधिक तापमान से गैसें बाहर निकल जाती हैं। इसके परिणामस्वरूप कम रीवर्किंग की आवश्यकता पड़ती है, कम अपशिष्ट उत्पन्न होता है, एवं 24/7 उत्पादन प्रक्रिया में कोई बाधा नहीं आती।
ऊर्जा की खपत भी कम होती है, क्योंकि सिस्टम जल्दी ही ठंडा हो जाता है, जिससे ऊर्जा-खर्च कम हो जाता है।
योजना बनाते समय ध्यान रखने योग्य बातें:
यह प्लेटफॉर्म मौजूदा कोटिंग/ट्रैक लाइनों में ही इस्तेमाल की जा सकती है; लेकिन इसके लिए 208 वोल्ट, 3-फेज वाला विद्युत स्रोत एवं क्लीनरूम-ग्रेड का एक्जॉस्ट सिस्टम आवश्यक है। कमीशनिंग हेतु 4 घंटे एवं ऑपरेटरों के प्रशिक्षण हेतु 1 दिन आवश्यक है।
हीटर प्लेटों को चेंजओवर के दौरान यांत्रिक झटकों से बचना आवश्यक है; इसलिए मैनुअल में दी गई सूचनाओं का ही पालन करें। यदि कोई फिक्सिंग भाग अत्यधिक कस दिया जाए, तो तापीय एकरूपता में 0.2°C का अंतर आ सकता है।