फैब फ्लोर पर, वेफर के किसी हिस्से में 0.1°C का तापमान भी वेफर की सतह की समानता को बिगाड़ने के लिए पर्याप्त है। सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक के दौरान फोटोरेजिस्ट पर कोई नियंत्रण नहीं होता; तापमान या तो नियंत्रित रहता है, या फिर यह अनुमान पर ही निर्भर होता है। ऐसे अनुमानों के कारण अवशिष्ट घोल, धब्बे आदि उत्पन्न हो जाते हैं… और इसके परिणामस्वरूप वेफर बेकार हो जाता है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमने वेफर ड्रायर को ±0.1°C की समानता के मानक के आधार पर ही डिज़ाइन किया है। हीटर शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड प्रकार का है; इसलिए यह तेज़ी से एवं स्थानीय रूप से प्रतिक्रिया देता है। इससे तापमान नियंत्रित रहता है। क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में, चेंबर की ज्यामिति एवं हवा का प्रवाह ऐसा होता है कि कोई अशांति न हो, एवं कोई कण भी उत्पन्न न हो। इससे बेकिंग एवं ड्रायिंग के दौरान कणों का उत्पादन शून्य रहता है। नियंत्रण हेतु कैलिब्रेटेड सेंसरों का उपयोग किया जाता है… इससे हर बार एक ही तापमान प्राप्त होता है।
लिथोग्राफी में यह क्यों कारगर है?
लिथोग्राफी में, ड्रायर कोई अतिरिक्त उपकरण नहीं है… बल्कि यह पैटर्निंग प्रक्रिया का ही हिस्सा है। तापमान की सटीक नियंत्रण से फोटोरेजिस्ट की मोटाई स्थिर रहती है, एवं घोल का निष्कासन भी सुनिश्चित रहता है… इससे क्रिटिकल डाइमेंशनों का नियंत्रण बेहतर होता है, एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है। क्लीनरूम-अनुकूल डिज़ाइन एवं शून्य कण उत्पादन से रेटिकल एवं वेफर की सतह सुरक्षित रहती है… इससे दोषों की संख्या कम रहती है। परिणामस्वरूप, चक्रों का समय अनुमानित रहता है, एवं उत्पादन भी स्थिर रहता है। तेज़ तापमान नियंत्रण एवं न्यूनतम ऊर्जा खपत के कारण ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है।
क्या ध्यान में रखना आवश्यक है?
यह उपकरण 24/7 कार्य करने हेतु ही डिज़ाइन किया गया है… लेकिन इसके लिए स्वच्छ, शुष्क वातावरण एवं स्थिर वोल्टेज आवश्यक है। स्थापना के समय ही सर्विस एक्सेस एवं एक्सहॉस्ट रूटिंग की व्यवस्था कर लेनी चाहिए। इसे मौजूदा ट्रैक लाइनों से जोड़ना आसान है… लेकिन प्रत्येक फोटोरेजिस्ट स्टैक के लिए तापमान प्रोफ़ाइल की पुनः जाँच आवश्यक है… क्योंकि विभिन्न सामग्रियाँ अलग-अलग तरह से प्रतिक्रिया देती हैं… भले ही तापमान सीमा के भीतर ही क्यों न हो।