फैब फ्लोर पर, अंतिम धोने की प्रक्रिया के बाद निकलने वाले वेफरों में थोड़ा सा भी वॉटरमार्क होना स्वीकार्य नहीं है। कंवेक्शन ओवनों में तापमान संतुलन बनाए रखने हेतु लगातार प्रयास किए जाते हैं; ऐसे में उत्पादन दर प्रभावित होती है। इन्फ्रारेड ड्रायिंग इस समस्या का समाधान है।
तकनीकी दृष्टि से, वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
इन्फ्रारेड किरणें सीधे पानी पर पड़ती हैं, जिससे वेफर की सतह गर्म हो जाती है… चैंबर की हवा में गर्मी फैलने की आवश्यकता ही नहीं है। इससे वेफर की सतह पर तापमान संतुलन ±0.1°C के भीतर रहता है… कंवेक्शन सिस्टमों में होने वाली समस्याओं से छुटकारा मिल जाता है। शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड, फोटोरेसिस्ट को नुकसान पहुँचाए बिना तेज़ एवं नियंत्रित ऊर्जा प्रदान करता है। मीडियम-वेव इन्फ्रारेड, अधिक तापमान की आवश्यकता होने पर भी उपयोगी है… लेकिन इसमें तापमान नियंत्रण बना रहता है।
यह सिस्टम क्लीनरूमों की आवश्यकताओं के अनुरूप ही डिज़ाइन किया गया है… कोई कण उत्पन्न नहीं होता, क्वार्ट्ज/हैलोजन तत्वों का उपयोग किया गया है… एवं ऐसा डिज़ाइन है जिससे हवा का प्रवाह नियंत्रित रहता है। इस सिस्टम में प्रत्येक शिफ्ट में तापमान संतुलन 0.3°C से भी कम रहता है।
लिथोग्राफी एवं वेट प्रोसेसिंग में इसका उपयोग क्यों उपयुक्त है?
लिथोग्राफी एवं वेट प्रोसेसिंग में तो समय एवं दोष नियंत्रण ही महत्वपूर्ण है… इन्फ्रारेड सिस्टम से वेफर जल्दी सूख जाते हैं… प्रति बैच में कम ऊर्जा खर्च होती है… एवं तापमान नियंत्रण भी बेहतर होता है। इससे फोटोरेसिस्ट का प्रदर्शन बेहतर रहता है… पुनर्प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है… एवं उत्पादों में तापमान संतुलन बना रहता है।
सबसे महत्वपूर्ण बात यह है कि यह सिस्टम 24×7, साल दर साल उपयोग में रह सकता है… इसके घटकों की आयु लंबी है… एवं रखरखाव के बाद भी इसकी कार्यक्षमता बनी रहती है… कोई अप्रत्याशित बंद होने की स्थिति नहीं होती।
आपको ध्यान देने योग्य व्यावहारिक विवरण:
इन्फ्रारेड ड्रायिंग सिस्टम को लाइन में भी लगाया जा सकता है… लेकिन तापमान नियंत्रण हेतु उचित योजना आवश्यक है। इसका आकार तो छोटा है… लेकिन गर्मी निकासी हेतु उचित व्यवस्था आवश्यक है… वातावरणीय परिस्थितियों एवं ऊर्जा वितरण को ध्यान में रखना आवश्यक है।
हम आपके उपकरणों एवं क्लीनरूम की आवश्यकताओं के अनुरूप ही हीटर एवं नियंत्रण प्रणाली को डिज़ाइन करते हैं… आपके वेफरों के व्यास एवं उत्पादन दर के अनुरूप ही इसका आकार निर्धारित किया जाता है।