लिथोग्राफी फ्लोर पर, लाइन तब भी चलती रहती है चाहे आपका बेक प्रोफाइल डायल इन हो या न हो। सॉफ्ट बेक ड्रिफ्ट CD स्कैटर के रूप में दिखता है। हार्ड बेक नॉन-यूनिफॉर्मिटी पैटर्न की अखंडता को नुकसान पहुंचाती है, और वेफर हर डिग्री के लिए भौतिक नियंत्रण में चूक का महंगा भुगतान करता है।
हमने क्या बनाया, और इसका महत्व क्या है
हमने NIR वेफर ड्रायर को नजदीकी इन्फ्रारेड रेडिएंट हीटिंग के आस-पास रखा है, जिसे फोटोरेसिस्ट और सब्सट्रेट में सीधे ऊर्जा डंप करने के लिए ट्यून किया गया है। इसका परिणाम वेफर-स्तर की यूनिफॉर्मिटी है जो ±0.1°C के भीतर रहती है, और सॉफ्ट बेक तथा हार्ड बेक दोनों में तापमान प्रोफाइल दोहराने योग्य रहते हैं। यह क्लास 1–100 क्लीनरूम में चलता है बिना पार्टिकल काउंट बढ़ाए, और हीटिंग पॉइंट पर शून्य पार्टिकल उत्सर्जन होता है। विश्वसनीयता 24/7 ऑपरेशन के लिए निर्मित है, जिसमें कई उत्पादन शिफ्ट्स में बिना किसी अनियोजित डाउनटाइम के काम चलता रहता है।
उच्च मात्रा वाले फैब में, थर्मल स्थिरता प्रॉसेस स्थिरता होती है। इससे CD नियंत्रण सख्त होता है, रीवर्क लॉट कम होते हैं, और बेक प्रदर्शन हर लॉट में समान रहता है। NIR ड्रायर थर्मल बजट की बर्बादी को कम करता है, सायकल टाइम को घटाता है, और तापमान अस्थिरताओं से लाइन को बाधित होने से बचाता है। आप चाहे पैकेजिंग लाइन चला रहे हों या एडवांस्ड नोड्स पर काम कर रहे हों, इसका परिणाम उच्च यील्ड और स्थिर उपकरण उपयोग में दिखता है।
NIR के साथ एक बात ध्यान रखने वाली है: इसे वेफर तक लाइन-ऑफ-साइट (प्रत्यक्ष दृश्य) और एक साफ, परावर्तक थर्मल पथ की आवश्यकता होती है। चक या फिक्स्चर से बनने वाली छाया स्थानीय ठंडे स्थान बना सकती है। इसलिए आप इंटीग्रेशन की योजना सब्सट्रेट ज्योमेट्री, एमिसिविटी और टूल इंटरफेस के आधार पर बनाते हैं। एक बार संरेखण सही होने पर, आपको दोहराने योग्य बेक, न्यूनतम रखरखाव और पूर्वानुमानित ऊर्जा खपत मिलती है।