लाइन पर ही आप इस प्रक्रिया को देख सकते हैं। 2°C की कमी होने से फोटोरेजिस्ट का प्रोफाइल बदल जाता है… उसी क्षण ही। इसके बाद ऑवरले त्रुटियाँ उत्पन्न हो जाती हैं, और उत्पादन में कमी आ जाती है… इसीलिए इन्फ्रारेड हीटिंग का उपयोग वांछनीय नहीं है… यह तो केवल प्रक्रिया नियंत्रण हेतु ही उपयोग में आता है।
इन्फ्रारेड हीटिंग की सटीकता: सब-मिलीमीटर स्तर पर एकरूपता एवं दोहराव
इन्फ्रारेड, वेफर में सीधे ऊर्जा भेजता है… इसलिए थर्मल इनर्शिया लगभग शून्य हो जाती है… इससे तापमान नियंत्रण बेहतर हो जाता है। सब्सट्रेट पर सब-मिलीमीटर स्तर पर एकरूपता बनी रहती है… और हर बार एक ही तापमान प्राप्त होता है। इससे वेफर के महत्वपूर्ण आयामों में कोई बदलाव नहीं होता। प्रणाली हर बार एक ही तरह का थर्मल इतिहास दोहराती है… ऐसी दोहराव क्षमता ही विनिर्देशों में भी दिखाई देती है।
वेफर प्रसंस्करण में इसका उपयोग क्यों?
फोटोरेजिस्ट को तो पूरे तापमान इतिहास की ही आवश्यकता होती है… केवल चरम तापमान की नहीं। इन्फ्रारेड तेज़ी से एवं नियंत्रित तरीके से ऊर्जा देता है… इससे थर्मल विलंब कम हो जाता है… और तापमान नियंत्रण बेहतर हो जाता है। क्लीनरूम की उपयुक्तता भी महत्वपूर्ण है… यह डिज़ाइन क्लास 1–100 वाले वातावरण में भी काम कर सकता है… एवं संचालन के दौरान कोई कण भी उत्पन्न नहीं होता… इससे उत्पादन में कोई कमी नहीं आती।
ऊर्जा की खपत कम होती है… क्योंकि ऊर्जा आवश्यकता के अनुसार ही दी जाती है… तेज़ गति से तापमान बढ़ने से समय भी कम हो जाता है… ऐसे में प्रक्रिया नियंत्रण भी बेहतर रहता है। विश्वसनीयता तो ऑनलाइन समय पर ही निर्भर है… ऐसी इकाइयाँ 24/7 काम करती हैं… एवं रखरखाव भी नियमित रूप से ही किया जाता है… इससे कोई अप्रत्याशित रुकावट नहीं आती।
निर्दिष्ट करने से पहले जानने योग्य बातें:
इन्फ्रारेड हीटिंग में तो दृष्टि-रेखा ही महत्वपूर्ण है… इसलिए वेफर की आकृति एवं कैरियर का डिज़ाइन भी एकरूपता पर प्रभाव डालता है। चैंबर की संरचना एवं एमिटर की स्थिति को सब्सट्रेट के मार्ग के अनुसार ही व्यवस्थित करना होता है। इन्फ्रारेड हीटिंग का उपयोग करने से नियंत्रण बेहतर हो जाता है… ऐसे में उत्पादन भी बेहतर हो जाता है।