工厂干燥系统的能源审计

为什么在半导体制造中，红外加热比热风加热更高效？ 我们来谈谈晶圆的干燥问题。传统的干燥方式依赖热风循环——先加热空气，再让空气来加热晶圆，然后等待一段时间。这种方式效率极低。 在高压半导体生产环境中，这种等待时间简直就是灾难性的。晶圆只能静静地放在干燥室里，表面仍保留着水分，而生产流程则因此变得十...