高品质晶圆加热灯

在晶圆加工过程中，温度的微小变化都会对晶圆的尺寸产生影响。哪怕只是1°C的温度波动，都可能让晶圆的尺寸发生纳米级的变化，而这足以让数小时的光刻工作付诸东流。因此，晶圆加热并不仅仅是让晶圆变热那么简单，而是需要实现精确且均匀的控温，同时还要确保每一层材料的热平衡。 关键在于精确控温 我们使用的晶圆加...