埃瓦特克蒸发器加热灯

上线时，那个300mm晶圆正等着一个干净的热特性——这种特性能锁定你的光刻公差。软烘烤即使漂移几摄氏度，光刻胶厚度也会发生变化。接着是硬烘烤，你可以看到关键特征开始坍塌。 蒸发器中的加热灯不仅仅是“一个热源”。它是一个工艺仪器。当它性能不稳定时，代价显现——废品、返工和意料之外的停机时间。 技术关...