半导体检测工具加热器

在检测过程中，0.5°C的温差就足以决定一个晶圆是否合格。晶圆的温度会影响信号的质量、背景噪声，进而决定光阻在镜头下的表现。如果加热器无法维持稳定的温度，那么不仅会导致产品合格率下降，还会打乱整个生产计划。 我们在加热器中采用了什么技术？ 我们选用了短波红外元件以及石英基材料构成的散热结构，以此确...