晶圆加工设备用温度传感器

在晶圆加工设备中正确运用热成像技术 如果您希望实现更智能的工厂运作，那么您肯定已经意识到，传统的接触式温度计已不再适用。它们反应速度太慢，而且，直接接触晶圆其实存在很大的风险。 因此，我们转而使用高速红外传感器。这样，我们就可以在不接触晶圆表面的情况下获得实时的温度分布图。无需担心污染或机械应力问...