晶圆干燥：红外加热与对流加热的比较

在晶圆加工车间里，刚完成最终清洗的晶圆上绝不能有哪怕微米级的瑕疵。在对流式烘干设备中，需要不断调整温度分布，而这一过程会直接影响产品的良率。而红外烘干技术则改变了这一状况。 从技术层面来看，真正重要的是什么？ 红外光直接照射在晶圆表面，从而加热晶圆，而不会让热量扩散到腔室内的空气中。这样一来，晶圆...