晶圆制造中的聚酰亚胺固化工艺

在光刻工艺中，聚酰亚胺层的作用是确保各种复杂的电路结构能够稳定地结合在一起。如果在高温固化过程中出现温度波动，那么整个电路结构就会毁掉。我们设计的聚酰亚胺固化热处理系统，就是为了消除这种风险。 关键点： 在整个固化过程中，我们需要保持晶圆表面的温度均匀性在±0.1℃范围内，从低温预处理到最终固化阶...