用于半导体加热器的热电偶

如何让100级洁净室始终保持清洁状态？ 在加热半导体晶圆时，温度控制只是其中的一半工作。在100级洁净室中，哪怕只有一粒微小的灰尘，都可能毁掉整批芯片。这真是个噩梦。因此，我们放弃了金属外壳的加热器——因为它们容易剥落，还会释放出大量有害气体。取而代之的是高纯度的石英红外灯。 为什么选择石英？ 我...