为何在晶圆加工中使用红外线

在生产线上，你可以实时观察到整个过程。当温度上升2摄氏度时，光刻胶的厚度就会立刻发生变化。随后就会出现各种误差，导致废品率上升，而产品甚至还没进入蚀刻工序。正因为如此，红外加热并非一种可选的加热方式，而是一种必要的工艺控制手段。 红外加热的精准度：亚毫米级的均匀性与重复性 红外加热能够将辐射能量直...