洁净室烤箱红外加热器

为什么在洁净室烤箱中要使用红外线而非普通空气加热？ 在半导体加工过程中，一切都取决于一个关键因素：浪费了多少时间。大多数人习惯使用强制对流式加热方式。但问题在于，这种方式的加热速度很慢——实际上就是让整个空间内的空气变热，然后等待那些热量慢慢传递到被加热的工件上。这显然是一种效率低下的方法。 而红...